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直驅電機四軸平臺應用于PVD去膜機
直驅電機四軸平臺應用于PVD去膜機
X軸和Y軸為平板直線電機,Z軸為伺服電機平臺,第四軸為可360°旋轉的力矩電機
X軸、Y軸重復定位精度2um,X-Y垂直度0.01mm,Z-Y垂直度0.03mm,負載面-Y平行度0.03mm
直線電機雙驅平臺應用于激光切割機床
直線電機雙驅平臺應用于激光切割機床
重復定位精度±1 um, 絕對定位精度5um,走圓弧插補,圓度精度5um(軌跡 ?6)
雙層防護結構,有效保護直線電機平臺內部零部件不受激光切割粉塵影響