X軸和Y軸為平板直線電機，Z軸為伺服電機平臺，第四軸為可360°旋轉的力矩電機
X軸、Y軸重復定位精度2um，X-Y垂直度0.01mm，Z-Y垂直度0.03mm，負載面-Y平行度0.03mm
產品選型鏈接：
http://normal2.com/products/5/lmh/c-24/
2022-04-27
X軸和Y軸為平板直線電機，Z軸為伺服電機平臺，第四軸為可360°旋轉的力矩電機
X軸、Y軸重復定位精度2um，X-Y垂直度0.01mm，Z-Y垂直度0.03mm，負載面-Y平行度0.03mm
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