| 電機型號及參數 | ||
| 性能 數值 | 單位 | 數值 |
| X軸（下軸參數） | ||
| 連續推力（在溫度Tmax下） | N | 17 |
| 峰值推力 | N | 85 |
| 連續電流（在溫度Tmax下） | Arms | 0.5 |
| 峰值電流（持續時間1S） | Arms | 2.5 |
| 最大負載 | kg | 4 |
| 有效行程 | mm | 25 |
| 分辨率 | μm | 0.1 |
| 最高速度（1） | mm/s | 700 |
| 重復精度 | μm | ±0.5 |
| Y軸（下軸參數） | ||
| 連續推力（在溫度Tmax下） | N | 17 |
| 峰值推力 | N | 85 |
| 連續電流（在溫度Tmax下） | Arms | 0.5 |
| 峰值電流（持續時間1S） | Arms | 2.5 |
| 最大負載 | kg | 4 |
| 有效行程 | mm | 25 |
| 分辨率 | μm | 0.1 |
| 最高速度（1） | mm/s | 700 |
| 重復精度 | μm | ±0.5 |
| T軸（下軸參數） | ||
| 連續力矩（25℃ ±5%） | N | 0.4 |
| 峰值力矩 | N | 1.2 |
| 連續電流（在溫度Tmax下） | Arms | 1.3 |
| 峰值電流（持續時間1S） | Arms | 3.9 |
| 最大負載 | kg | / |
| 最大轉速 | Rpm | 120 |
| 重復精度 | arc sec | ±2 |
| 平臺重量 | kg | 5.5 |
| 工作環境溫度、濕度 | 0-40℃、20-80%RH | |
| 注（1）：根據實際的負載質量，會存在達不到最高速度的情況，具體速度可與工程師溝通 | ||
