| 電機型號及參數 | ||
| 性能參數 數值 | 單位 | 數值 |
| 連續推力（在溫度Tmax下） | N | 120 |
| 峰值推力 | N | 900 |
| 最大負載 | kg | 90 |
| 有效行程 | mm | 100-2500 |
| 分辨率 | μm | 0.5 |
| 最高速度（1） | mm/s | 2000 |
| 重復精度 | μm | ±1 |
| 平臺重量 | kg | 4.5 |
| 工作環境溫度、濕度 | 0-40℃、20-80%RH | |
| 注（1）：根據實際的負載質量，會存在達不到最高速度的情況，具體速度可與工程師溝通 | ||
| 平臺性能參數 | ||||||||||||
| 行程mm 參數 | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 700 | 800 | 900 | 1000 | 1100 | 1200 |
| k | 6 | 8 | 8 | 10 | 10 | 12 | 14 | 14 | 16 | 18 | 18 | 20 |
| N | 2 | 3 | 3 | 4 | 4 | 5 | 6 | 6 | 7 | 8 | 8 | 9 |
| 平臺總長L（mm） | 470 | 570 | 670 | 770 | 870 | 970 | 1070 | 1170 | 1270 | 1370 | 1470 | 1570 |
